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文章介绍一种采用微米(μm)级NiFe合金的多层叠装磁心研究开发的用于高密度封装的超低高度(0.4mm)的平面螺旋电感器。其制造工艺是采用简单的腐蚀掉电镀铜层的方法,以此获得7层厚度为1.8μm的叠层磁心,并以这种磁心与螺旋线圈一起组成螺旋型电感器。制成器件的整体尺寸为40×15(mm)。成品测试的性能表明,它们适用于高密度封装的电源变换器。它们用于2.2MHz工作频率的升压变换器(5~10V),