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点火模块是脉冲等离子体推力器(Pulsed Plasma Thruster, PPT)启动放电的基础,而脉冲变压器作为点火模块的核心元件,其输出特性是影响 PPT 点火工作可靠性的关键因素。
本文研究并优化了等离子体刻蚀后、去静电过程中等离子体辅助晶片去静电的工艺步骤。通过数据模拟和实验设计,研究了极板间距、反应室压力、射频电源功率和射频电源关闭方式对晶片残存电荷的影响。
这项工作致力于设计和制造具有大量匝数(> 100)和高达32μH自感的小型平面线圈,适用于增强电感式传感器的性能。首先,改良后的惠勒公式用于确定最佳匝数以实现最高电感。 然后,介绍一种简单在硅衬底上溅射铝的基于感应耦合等离子体(ICP)蚀刻的工艺流程,并讨论了工艺的关键方面。
文章简要介绍了高温超导体和冷等离子体两种新型电子材料的一般概念,分类,制备技术以及应用情况,并对今后的发展前景进行了展望。
光纤通信技术的飞速发展,加快了“光速经济”的到来。为了适应通信技术和Internet的高速发展对超高妈速、超宽带宽、超大容量的通信系统的要求,除了需要研制出更好的光纤无源器件和有源器件外,还需要开发出超低损耗、长波长工作窗口的新型光纤材料,以及更合理的新型光纤结构和精良的制造工艺。(管内CVD(化学汽相沉积)法、棒内CVD(化学汽相沉积)法、PCVD(等离子体化学汽相沉积)法以及VAD(轴向汽相沉
自今年2月开始本轮EAST科学实验以来,超过100位的国外科学家来华开展广泛的合作研究。实验中,国内外科学家们围绕高参数长脉冲等离子体相关科学技术问题开展了大量的科学实验,取得了一系列新结果和大量的科学实验数据,为未来更高参数的长脉冲物理实验奠定了很好的科学技术基础。
众所周知,以等离子体增强化学气相沉积(PECVD)法生长的非晶硅和微晶硅材料,一直是薄膜太阳能电池制备中很有前景的材料。 阳光能源主席谭文华表示,预计多晶硅料的成本价格,下半年将由现时的接近每公斤逾50美元水平止升回落,至每公斤逾40美元水平,他解释,由于太阳能长远需求与较有价格竞争力的传统发电竞争,故太阳能的电价都会下降,并会拉动上游的成本价随之下滑,预计明年随着出现大量的供应,价格会进一步下跌
iSuppli公司的统计数据显示,等离子面板市场的增长已经开始减速,这是人们担心已久的。
低温退火对高频平面变压器用等离子体喷涂MnZn铁氧体的影响