螺旋电感器是一种常见的电感元器件,它主要由线圈和磁芯组成。 螺旋电感器的主要作用是储存磁场能量,当通电线圈中的电流发生变化时,会产生感应电动势,阻碍电流的变化。 螺旋电感器的应用非常广泛,可以用于各种电子设备中,如电源滤波器、信号处理、通信设备、仪器仪表等。它可以有效地滤除电源线、信号线等传输线中的噪声,提高设备的性能和可靠性。
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本文研究了片上电感工艺参数的影响,利用MATLAB仿真仿真了片上电感的特性。所有的电感均采用标准的具有金属层的硅工艺进行制造。只有当技术参数(例如顶部金属和衬底之间的金属导电率、金属厚度、氧化物厚度,以及电感上衬底的导电率,品质因数和自谐振频率)一起使用时,仿真结果才是准确的。
文章介绍一种采用微米(μm)级NiFe合金的多层叠装磁心研究开发的用于高密度封装的超低高度(0.4mm)的平面螺旋电感器。其制造工艺是采用简单的腐蚀掉电镀铜层的方法,以此获得7层厚度为1.8μm的叠层磁心,并以这种磁心与螺旋线圈一起组成螺旋型电感器。制成器件的整体尺寸为40×15(mm)。成品测试的性能表明,它们适用于高密度封装的电源变换器。它们用于2.2MHz工作频率的升压变换器(5~10V),
一种多层微米级叠片磁心平面螺旋电感器