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在本文中，我们报告了3D电磁电感的设计和测量，该电感嵌入在Si基板中并且可以集成铁芯。通过兼容CMOS的MEMS制造工艺，我们制造出具有良好结构完整性和可重复性的各种电感器设计。电感器的平均电感和品质因数峰峰值变化低于10％，这表明制造工艺是可重复的。
