MEMS晶圆是指使用微电子机械系统（MEMS）技术制造出的晶圆。MEMS技术是一种将微型机械结构与电子技术相结合的制造技术，可以在晶圆上制造出微小的传感器、执行器、结构等，广泛应用于各种领域，如汽车、医疗、消费电子等。 MEMS晶圆具有以下特点： 小型化：使用MEMS技术可以制造出非常微小的结构，从而实现设备的小型化。 高性能：由于MEMS结构可以制造出非常微小的结构，因此可以实现更高的灵敏度和分辨率。 批量生产：使用晶圆制造工艺可以批量生产出大量的MEMS器件，降低成本。 集成化：可以将多个MEM
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