MEMS 谐振器是一种基于微机电系统（Micro-Electro-Mechanical System，MEMS）技术制造的谐振器件，它能够在微纳尺度下实现机械振动与电学信号的相互转换，是现代通信、传感器、计时等领域中的关键元件之一. 工作原理 基本原理：MEMS 谐振器主要利用了材料的机械弹性和压电效应等物理特性。当在谐振器上施加适当的激励信号时，谐振器的结构会发生机械振动，其振动频率取决于谐振器的几何形状、材料特性和机械边界条件等因素。同时，由于压电效应或电容变化等机制，这种机械振动会导致谐振器的电学
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