MEMS(微机电系统)镜头是一种利用微机电系统技术制造的微小镜头组件。它将机械结构、光学元件以及驱动和控制电路集成在微小的芯片上,通过微纳加工技术实现镜头的聚焦、变焦等功能。其尺寸通常在毫米甚至微米级别,与传统光学镜头相比,具有小型化、高精度和可集成性等诸多优势。 原理: 聚焦原理:MEMS 镜头的聚焦主要通过改变镜头中某些元件的相对位置来实现。例如,通过微驱动器改变透镜的位置或形状,从而调整焦距。有些 MEMS 镜头采用液体透镜技术,即利用两种不相溶的液体,通过改变液体界面的曲率来实现聚焦。当施加电压
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