国产MOCVD的研制成功 使得我国LED设备制造进入一个新的历史阶段
摘要: 中科院LED照明研究所研制成功LED灯芯片制造的关键设备MOCVD,使我国LED设备制造进入一个新的历史阶段。
中科院LED照明研究所研制成功LED灯芯片制造的关键设备MOCVD,使我国LED设备制造进入一个新的历史阶段。
MOCVD即金属有机化合物化学气相沉积,是生产LED灯芯片的关键设备,技术难度极大,目前世界上主要由两家公司垄断,包括德国Aixtron公司与美国的Veeco(Veeco兼并Emcore公司MOCVD业务)两家。
MOCVD的技术路线主要有:Aixtron采用行星反应(PlanetaryReactor),Aixtron兼并ThomasSwan的ClosedCoupledShowerhead(CCS)反应室,Veeco公司采用TurboDisc反应室,必须有极高的温度压力控制能力,包括对多种气体的量的控制,而且这一切都在一个密闭的空间里实现,显然难度比起汽车发动机高得多,因此国外很多公司研发多年最终失败。
由于存在技术垄断及技术壁垒,有关厂家采用高价策略,以攫取暴利,一套设备以千万计,从而最终的LED芯片价格居高不下,传导到下游使LED灯价格也难以降低,最终导致LED灯难以普及,只能有高端用户才能享受这种环保节能的照明产品。
现在中科院LED照明研究所研制成功的MOCVD,其技术水准已经达到目前市面销售的MOCVD的水准,也许比起着名公司储备的新一代MOCVD设备要略差,但显然已经可以实际商业运行了,可以投入LED灯的工业化生产,最终将导致LED灯价格降低,使寻常百姓也能有幸使用这种高科技的环保产品。
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