组合传感器,它包括线圈和电阻;线圈和电阻 固封在一体式的绝缘体内,所述的绝缘体上部具 有感应孔,在感应孔周围安装有一次导体,
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展望2012年,MEMS麦克风、惯性感测器、电子罗盘与压力计等元件产量仍将持续攀升,并有数种新的MEMS元件会陆续量产上市。预估至2016年,整体产值将可上看200亿美元。2010年,全球MEMS市场营收约为72亿美元,2011年预计为79亿美元,增幅约10%;2012年将增长到约88亿美元,2015年这一数字将达到118亿美元,2010~2015年的平均复合增长率约为10.5%。