超薄膜是一种厚度极薄的薄膜材料，在许多领域都发挥着关键作用。 一、定义与厚度范围 超薄膜并没有一个严格统一的定义，但通常是指厚度在纳米到微米级别（一般小于 1μm）的薄膜。从微观角度看，这样的薄膜可能仅有几个原子层或分子层的厚度。例如，在一些先进的半导体工艺中，使用的薄膜厚度可以达到几纳米，像二氧化硅薄膜在某些芯片制造环节中，其厚度可能只有几纳米到几十纳米，这些都属于超薄膜范畴。
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