摘要：  由于传统平面(Plane)蓝宝石基板价格骤降，中国大陆蓝宝石基板制造商正大举采购微影(Lithography)与蚀刻(Etching)机台，加码投入图案化蓝宝石基板(PSS)开发，以提高PSS产能，从而降低产品价格。

关键字：  蓝宝石基板，微影，蚀刻，PSS，半导体

由于传统平面(Plane)蓝宝石基板价格骤降，中国大陆蓝宝石基板制造商正大举采购微影(Lithography)与蚀刻(Etching)机台，加码投入图案化蓝宝石基板(PSS)开发，以提高PSS产能，从而降低产品价格。

大陆蓝宝石基板厂转投PSS开发

国际半导体设备材料产业协会(SEMI)表示，中国大陆蓝宝石基板厂商正积极扩张PSS年产能，促使PSS总体年产能迅速攀升，预计2012年总产量将超过一千万片，远高于传统平面蓝宝石基板二百五十万片的产能。到2014年PSS年总产能更将上看二千万片以上，而传统平面蓝宝石基板产量则不到二百五十万片。

按照SEMI中国统计，2英寸传统平面蓝宝石基板单价已从2010年35美元高峰快速下探至2012年第三季的9.5美元。在中国大陆蓝宝石新进业者持续涌进市场之下，未来价格回涨空间不大。

同鑫光电科技、东晶博蓝特、苏州海铂晶体、合肥晶桥、科瑞斯光电等，皆已大力扩充产能，这样也为微影和蚀刻两大PSS生产设备供应商带来商机。