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这项工作致力于设计和制造具有大量匝数（> 100）和高达32μH自感的小型平面线圈，适用于增强电感式传感器的性能。首先，改良后的惠勒公式用于确定最佳匝数以实现最高电感。 然后，介绍一种简单在硅衬底上溅射铝的基于感应耦合等离子体（ICP）蚀刻的工艺流程，并讨论了工艺的关键方面。
SALIX是一种有害气体清除系统，主要针对湿式蚀刻清洗台应用。借助使用端清除技术，SALIX能够有效防止其排气管发生堵塞。该系统不需要任何稀释空气，因此精心制备的干净空气会依然留在净室之中，以进一步降低成本。
高纯度的硅占据了传统太阳能电池阵列总成本的40%，因此研究人员长久以来一直在寻找可最大化太阳能电池输出功率，同时降低硅用量的途径。
FSI利用MAGELLAN浸泡式清洗制程设备 推出新的氮化硅选择性蚀刻制程
