电感式传感器通常由一个线圈和一个铁芯组成。当线圈通过电流时,会在铁芯中产生磁场。如果铁芯的位置或形状发生变化,则磁场的强度也会发生变化,从而在线圈中产生一个感应电动势。这个感应电动势的大小与磁场的变化率成正比,因此可以通过测量感应电动势来检测磁场的变化。
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这项工作致力于设计和制造具有大量匝数(> 100)和高达32μH自感的小型平面线圈,适用于增强电感式传感器的性能。首先,改良后的惠勒公式用于确定最佳匝数以实现最高电感。 然后,介绍一种简单在硅衬底上溅射铝的基于感应耦合等离子体(ICP)蚀刻的工艺流程,并讨论了工艺的关键方面。
作为定位及检测手段,多种传感器已经普及到生产线各个环节中,尤其是车厂广泛用于定位的电感式传感器,实时监控着整条线的运行状态。但面对于市场上不同厂家、多系列的传感器,如何选择最适合汽车制造领域应用的产品,成为关键。