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这项工作致力于设计和制造具有大量匝数（> 100）和高达32μH自感的小型平面线圈，适用于增强电感式传感器的性能。首先，改良后的惠勒公式用于确定最佳匝数以实现最高电感。 然后，介绍一种简单在硅衬底上溅射铝的基于感应耦合等离子体（ICP）蚀刻的工艺流程，并讨论了工艺的关键方面。
