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SALIX是一种有害气体清除系统，主要针对湿式蚀刻清洗台应用。借助使用端清除技术，SALIX能够有效防止其排气管发生堵塞。该系统不需要任何稀释空气，因此精心制备的干净空气会依然留在净室之中，以进一步降低成本。

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