理想能源二代MOCVD设备身兼20项专利 适合商业量产
摘要: 理想能源设备有限公司MOCVD设备于12月6日成功下线,据介绍,该设备是在第一代原型机的基础上开发出第二代量产型MOCVD设备,单腔一次可生产84片2英寸外延片,并已申请20项国内外专利。
理想能源设备有限公司MOCVD设备于12月6日成功下线,据介绍,该设备是在第一代原型机的基础上开发出第二代量产型MOCVD设备,单腔一次可生产84片2英寸外延片,并已申请20项国内外专利。
理想能源二代MOCVD设备
资料显示,理想能源在2010年9月启动MOCVD项目,在两年时间里,理想能源技术团队设计开发出了具有自主知识产权的MOCVD设备,并完成了第一代单腔体独立设备和高产出率的簇式生产系统的生产组装,成功地实现GaN基LED外延片的发光。
经过设备原型机近1年的运行证明,于2012年5月通过上海市科委的验收。依据工艺验证结果和客户反馈,在第一代原型机的基础上开发出第二代量产型MOCVD设备,报道称该量产机型在产出率、可靠性、运行经济性等方面都有了显著的提升,适合商业量产。
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