MOCVD设备是一种用于物理学、材料科学领域的工艺试验仪器， MOCVD(金属有机化学气相沉积)，是利用金属有机化合物进行金属输运的一种气相外延生长技术，以有机化合物和氢化物等作为晶体生长源材料，以热分解反应方式在衬底上进行气相外延，生长各种Ⅲ-V族、Ⅱ-Ⅵ族化合物半导体以及它们的多元固溶体的薄层单晶材料。
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