微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。 微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级,是一个独立的智能系统。 微机电系统是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
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从2009年温家宝总理在无锡提出“感知中国”到今天。中国物联网产业发生了翻天覆地的变化,尤其是在今年,随着可信云、智能家居硬件、可穿戴设备多项实质化项目的落地,人们越来越真切的感觉到物联网时代已经到来。近日美国最大的专业微机电系统(EMES)代工制造商IMT入驻中国,为中国传感器行业带入新态势。
日前,美国德州大学阿灵顿分校(UT Arlington)与台湾微机电系统(MEMS)相关企业稳银科技股份有限公司宣布,已经成功利用MEMS技术试制出了直径1.8mm的超小型发电用风车,这款微型风车可在智能手机的机壳、用户的衣袖或家中墙壁等处“设置”多个这种风车,用于能量采集
2011年世界微机电系统(Microelectromechanical systems (MEMS))市场规模达到了102亿美元,比2010年增长19%,这一增长速度远超同年1.8%的世界半导体总体营收增幅和4%的世界Fabless销售额涨幅。近年来随着智能手机、汽车电子、医疗电子、物联网等产业的快速发展,对MEMS元件产品的需求量将会持续攀升,推动MEMS产业进入快速发展阶段。
据Display Search预计,2015年将达到5800万个的出货量。但Intersil的估计更为乐观,认为会超过此数字。微型投影主要采用三类技术:DLP(数字光学处理技术)、LCoS(硅基液晶)和MEMS(微机电系统),Intersil提供三类方案。DLP的主要供应商——TI的高级副总裁兼DLP产品事业部总经理Kent Novak介绍:微投是TI的DLP业务中增长最快的,DLP目前占整个微投
据IHS公司的消费与移动MEMS市场研究报告,微机电系统(MEMS)市场中最大和最有活力的领域是消费与移动器件,通过积极开拓智能手机和平板应用,2011年MEMS市场将再度实现创纪录的增长率。