MEMS（微机电系统）是一种集成微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路等于一体的微型系统。它在许多领域都有广泛的应用，包括但不限于以下几个方面： 消费电子领域：MEMS传感器在消费电子领域有着广泛的应用，如智能手机、平板电脑、笔记本电脑等。它们可以用于检测加速度、角速度、压力、温度等物理量，从而实现各种功能，如屏幕自动旋转、手势识别、计步器等。 汽车工业：MEMS传感器在汽车工业中也有着重要的应用。例如，它们可以用于检测汽车的加速度、角速度、压力、温度等参数，从而实现对汽车状态的实时
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