MEMS（Micro - Electro - Mechanical Systems）组件即微机电系统组件。它是将微传感器、微执行器和微机械结构、信号处理和控制电路、通信接口和电源等集成于一体的微型器件或系统。MEMS 组件的尺寸通常在微米到毫米量级，其制作工艺主要基于半导体制造技术。例如，一个典型的 MEMS 加速度计，其内部的微机械结构可以感知加速度的变化，并将其转换为电信号输出。工作原理 传感原理 以 MEMS 压力传感器为例，其工作原理通常是基于压阻效应或者电容变化。当外界压力作用于传感器的敏感膜
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