MEMS 技术是微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems）的缩写，是一种将微电子、微机械和微光学等多种技术融合在一起的新兴技术。 MEMS 技术的基本原理是在微小的尺度上制造和控制机械结构和电子器件，以实现特定的功能。这些微小的机械结构和电子器件可以是微小的传感器、执行器、微流控器件、微光学器件等。MEMS 技术在许多领域都有广泛的应用，如医疗保健、电子、通信、能源、环境监测、航空航天等。例如，MEMS 传感器可以用于测量心率、血压、温度等生理参数，也可以用于检测气体
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