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集成在硅基上的螺旋形线圈电感器

2003-03-21 10:09:41 来源:大比特资讯网
Integrated helix coil inductor on silicon(美国应用专利20030043010 日期:2002/10/15)
    提供了一种创设在硅半导体基表面上的电感器的新结构与方法。该电感器是螺旋形线圈类型,具有上下两层导体,还有一轴借助于将电感器螺旋形线圈的轴并联到下层基片平面上的一轴。在该发明的第一台具体装置中,创设在硅半导体基表面上的螺旋形线圈的高度是一样的;在该发明的第二台具体装置中,发明的电感器螺旋形线圈的高度是一样的,而螺旋形线圈上下两层导体之间插入铁氧体磁芯;在该发明的第三台具体装置中,创设在硅半导体基表面上的螺旋形线圈的高度是不一样的;在该发明的第四台具体装置中,发明的电感器螺旋形线圈的高度是不一样的,而螺旋形线圈上下两层导体之间插入铁氧体磁芯 
    发明者:Yeo, Kiat Seng; (Singapore, SG) ; Tan, Hai Peng; (Singapore, SG) ; Ma, Jian Guo; (Singapore, SG) ; Do, Manh Anh; (Singapore, SG) ; Chew, Kok Wai Johnny; (Singapore, SG)
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