制造集成电路电感器的方法
2003-06-09 08:55:33
来源：大比特资讯网
该发明涉及制造集成电路电感器的方法，电感器包含一个硅基片及在其上的氧化层。方法包含沉积导电环在氧化层上，并制造许多窗口，提供许多桥靠近窗口，桥由导电环内部区域和导电环外部氧化层区域，不是导电环之间的氧化层部分提供。导电环被支在桥上。在桥下方的硅基片上形成管沟，导电环和硅基片之间有一个气隙。
发明者: Xu， Shuming; (Santa Clara， CA) ; Feng， Han Hua; (Singapore， SG) ; Foo， Pang Dow; (Singapore， SG) ; Xu， Bai; (Albany， NY) ; Sridhar， Uppili; (Singapore， SG)
发明者: Xu， Shuming; (Santa Clara， CA) ; Feng， Han Hua; (Singapore， SG) ; Foo， Pang Dow; (Singapore， SG) ; Xu， Bai; (Albany， NY) ; Sridhar， Uppili; (Singapore， SG)
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