第10代生产线有可能 AKT发表CVD设备厂商的观点
但是,对于第7代以后的大型化,即使解决了均匀性问题,“仍存在其他诸多问题。” I.D. Kang说。比如,由于产品的运输越来越难,因此必须进行现场组装。随着加工设备的体积日益庞大,CVD设备的生产将会越来越困难。泵与电源等外部设备的体积不断增大,采购起来将会更加困难。加工舱使用的铝材料的采购日益困难。
其中,对于铝材料的采购,Kang表示AKT公司2004年大约采用了3100万吨铝材料。听到Kang说“相当于47架波音747飞机的铝材料用量”时,很多观众非常惊讶、现场一片哗然。据Kang表示,波音公司2003年生产的飞机共为235架。所以说,AKT在CVD设备的生产中使用了相当于波音公司在飞机制造中使用的铝材料用量的约20%。
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