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片式电感器是电感领域重点开发的产品,文章综述了电感的发展,片式电感器的分类,介绍了绕线型片式电感、叠层片式电感、编织型片式电感、激光刻线型片式电感的制造工艺,提出了片式电感器的技术发展方向,并介绍了低温共烧陶瓷技术和薄膜平面电感。
通常情况下,MEMS产品可以用与半导体产品相同或者类似的方法来制作,半导体微细加工中的光刻、曝光、刻蚀、清洗等加工工艺同样适用于MEMS产品制造。MEMS产品可以在Fabless或者系统整机生产厂家中设计好后,委托给集成电路Foundry工厂来制作。但加工工艺和产品测试方法等又稍不同于IC制造,从而形成了半导体微细加工的一个新领域。
LED外延生长及芯片制造过程需要多项专门技术,涉及光学、电学、材料学、表面物理、检测技术、光刻技术等多专业学科知识,以及物理分析、结构设计、参数设置、设备调控等多个生产环节。
薄膜型被动部件采用蒸镀、电镀以及光刻(Photolithography)等技术嵌入薄膜状绝缘层、介电层以及导体层,从而实现电感器及电容器等功能。知名被动部件厂商TDK目前正在扩充薄膜型被动部件的产品线。如共模滤波器通过提供0605尺寸的小型产品,来满足用户日益严格的轻薄短小方面的设备要求。