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#MEMS产业

MEMS是微电路和微机械按功能要求在芯片上的一种集成,基于光刻、腐蚀等传统半导体技术,融入超精密机械加工,并结合力学、化学、光学等学科知识和技术基础,使得一个毫米或微米级的MEMS具备精确而完整的机械、化学、光学等特性结构。 MEMS设备是日常生活的一部分,存在于从智能手机到汽车到战斗机的各种系统中,基于物联网,传感器正加速向千行百业渗透、融合,消费电子、智能家居、汽车等新市场的到来都将为MEMS传感器产业带来广阔的市场空间。

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