MEMS（Micro - Electro - Mechanical Systems）即微机电系统，是一种将机械元件、传感器、执行器和电子电路集成在同一芯片上的微小器件。它的尺寸通常在微米到毫米级别，融合了微机械加工技术、微电子技术和材料科学等多学科技术。MEMS 产品的出现使得许多传统机械和电子设备能够实现小型化、智能化和高性能化。微传感器部分： MEMS 传感器能够感知各种物理量，如加速度、压力、温度、磁场等。以 MEMS 加速度传感器为例，它主要基于牛顿第二定律和电容变化原理。当加速度作用于传感器时
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