MEMS加速度传感器是一种采用微机电系统（Micro-Electro-Mechanical Systems，简称MEMS）技术制造的加速度传感器。该技术将机械系统和电子电路使用硅半导体加工工艺集成在极小的尺寸内，机械系统将振动信号转化为电信号，电子电路完成电信号的采集和处理，两者形成一个协作系统，实现振动信号的智能检测，分析等一些列复杂功能。其主要工作原理是在传感器内部制备一块微小的质量块，当外部施加力时，根据惯性原理，质量块会因加速运动产生微小的位移。MEMS加速度计通过检测这个位移，就可以准确地测量
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