微传感器结构 1机械敏感结构：这是 MEMS 微传感器感知物理量的核心部分。2信号转换元件：为了将机械形变转换为电信号，MEMS 微传感器会采用不同的信号转换机制。3接口电路和封装结构：MEMS 微传感器需要接口电路来对转换后的微弱电信号进行放大、滤波、调理等处理。接口电路通常集成在同一芯片或封装内，它可以是简单的放大器电路，也可以是复杂的信号调理系统，以提高信号的质量和可辨识度。2微执行器结构 驱动机构：MEMS 微执行器的驱动方式主要有静电驱动、电磁驱动和压电驱动等。静电驱动是最常见的一种方式。
有关“MEMS器件基本结构”的最新话题，搜索0 次
哔哥哔特商务网是电子制造业产业链信息交流的平台，分享和剖析电子制造业上下游新技术、新产品资讯；通过“走进企业”、“对话”、“拆解”、“市场解读”、“产业分析”“研讨会专栏”等栏目进行行业深度解读，及时提供线下专业研讨会、峰会论坛、线上会议、直播等行业活动资讯。
