MEMS加速度计是一种基于微机电系统（MEMS）技术的惯性传感器，用于测量物体的加速度。与传统的加速度计相比，MEMS加速度计具有体积小、重量轻、能耗低等优点，因此在各种领域得到了广泛的应用。 MEMS加速度计的基本原理是牛顿惯性定律，即不受外力作用的物体将保持静止或匀速直线运动状态。当物体受到加速度作用时，其内部质量块会受到惯性力的作用，从而产生位移或形变。通过测量这个位移或形变，就可以推算出物体所受的加速度。 MEMS加速度计的分类有很多种，按照其结构和工作原理可以分为压电式、容感式、热感式等多
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