MEMS陀螺仪，即微电子机械系统陀螺仪，是建立在微米/纳米技术（micro/nanotechnology）基础上的21世纪前沿技术，它利用科里奥利力（旋转物体在有径向运动时所受到的切向力）原理，将机械构件、光学系统、驱动部件、电控系统集成为一个整体单元的微型系统。这种微电子机械系统不仅能够采集、处理与发送信息或指令，还能够按照所获取的信息自主地或根据外部的指令采取行动。 MEMS陀螺仪的核心是一个微加工机械单元，在设计上按照一个音叉机制共振运动，通过科里奥利力原理把角速率转换成一个特定感测结构的位移。
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