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通常情况下电感SPEC的选型，主要是以L：感值、DCR：直流电阻、SRF：自谐振频率、Isat：电感器饱和电流、Irms：电感器升温电流这五个参数作为参考来进行电感选型。还有需要注意的是电感屏蔽特性不同而导致RF低频问题也需要考虑在内。
本文研究了片上电感工艺参数的影响，利用MATLAB仿真仿真了片上电感的特性。所有的电感均采用标准的具有金属层的硅工艺进行制造。只有当技术参数（例如顶部金属和衬底之间的金属导电率、金属厚度、氧化物厚度，以及电感上衬底的导电率，品质因数和自谐振频率）一起使用时，仿真结果才是准确的。
