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文章首先介绍了在行波场存在的情况下,怎样对射频直到6GHz频率范围内的金属软磁薄膜的磁导率进行测量。然后,在软磁薄膜复数磁导率分布图的基础上,系统地论述了金属软磁薄膜在射频频段范围内的应用。这种磁膜用在工作频率为2GHz的绕有4匝尺寸为200×400(μm2)矩形螺旋线圈的铁磁射频集成电感器及在AC场中,灵
文章介绍使用软磁材料薄膜抑制共平面传输的射频(0.1~20GHz)噪声技术与材料的试验验证。由集成化技术和器件可知,共平面传输系统由磁膜—聚酰亚胺膜—铜(Cu)传输线—籽晶层(Cu/Ti)—玻璃基片组成。在本案产品中,信号线宽50μm,厚度3μm(特性阻抗为50Ω);用于抑制噪音的磁膜是CoPdA10,CoZrO和CoNoZr,它们采用射频
文章介绍了一种采用射频磁控溅射技术制作的CoFeBN纳米晶软磁薄膜,检测了其厚度与磁性能的关系。检测揭示,该磁膜的矫顽力在临界厚度时会陡然升高,但在其微观结构方面却没有任何明显的差异。此外,检测发现,B、N的含量增大,可以减小临界厚度。这些磁特性与磁膜的剩余应力有密切关系。
这里介绍的动态溅射磁膜的技术是根据沉积过程中基片载具连续地移动设计的。从器件的性能及其可靠性而言,采用这项技术可以获得优良高频低损耗性能的CoZrNb基磁膜材料。其高频性能是建立在FMR本征频率升至2.6GHz时具有大的HK值(75oe)基础上的。这个HK值比在磁场中使用的常规静态沉积磁膜的HK值大得多:对相同成分
采用一种具有零磁致伸缩特性的磁性薄膜CoNbZr经过精细制作,与磁膜难磁化轴垂线的长度方向相垂直地和水平地构成一个导线微型线阵,经180℃范围退火处理的样品,具有很小的矫顽力和良好的磁导率。利用具有线宽/间距=9μm/2μm的微型线阵制成的RF电感器,显示出具有L=7.5nH(为空气芯的+11%),R=7.6Ω和Q=6.3(几乎与空气芯的R和Q值相同)。
文章论述一种采用CoFeB磁膜(0.15μm)、薄铜箔导体(5μm)和聚酰亚胺薄膜(0.5μm)三种结构组成的射频(RF)阻抗匹配器。该器件的信号线宽6μm,纵向剖视CoFeB磁膜的总宽度约为200μm。实验检测结果显示,在工作频率超过1.5GHz时,减小磁膜的线条宽度,可以明显地降低“单位长度线段”的损耗。实验分析可知,所以能够降低该损耗,则:一是由于减小了磁膜断面内的涡流;二是减小磁膜宽度能使
一种磁膜集成射频噪声抑制器
用磁膜抑制共平面传输的射频噪声
使用金属磁膜的射频集成传输器件研究动向
用于射频集成电路的磁膜电感器